《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

3.2.5 單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于65dB（A），非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級(jí)（空態(tài)）不應(yīng)大于60dB（A）。

4.3.3

   1 按火災(zāi)危險(xiǎn)性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時(shí)，應(yīng)設(shè)隔墻；

5.4.2 物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

5.5.6  潔凈室（區(qū)）內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定： 

1 使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)； 

2 對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過(guò)爆炸下限的20%時(shí)，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；

3 傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?。氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。

6.2.1 潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

6.2.6 在綜合性廠房的一個(gè)防火分區(qū)內(nèi)，凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。 

6.2.7 潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定; 

   1  每一生產(chǎn)層、每個(gè)防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定 

   2  安全出口應(yīng)分散布置,并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志;安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開(kāi)啟,并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗; 

   3  丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房,在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報(bào)警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報(bào)警探測(cè)系統(tǒng)后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

注：對(duì)于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/㎡，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。

6.2.8 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 

1 潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；

2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動(dòng)門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防口。 

6.2.9 潔凈廠房?jī)?nèi)有爆炸危險(xiǎn)的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險(xiǎn)的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

6.3.1 潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級(jí)不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。

7.1.6 潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定： 

1 各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；

2 不同等級(jí)的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；

3 潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa； 

4  潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

7.5.1  空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于8級(jí)的潔凈室（區(qū)）不應(yīng)采用散熱器采暖。

7.5.3
 1 應(yīng)防止室外氣流倒灌；

2 含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；

4 對(duì)含有水蒸汽或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口；

5 排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源； 

6 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險(xiǎn)物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時(shí)，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源； 

7 排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運(yùn)行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計(jì)； 

8 排除有爆炸危險(xiǎn)的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。

7.5.4 對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險(xiǎn)性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對(duì)于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。

7.5.6 潔凈室（區(qū)）事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列規(guī)定： 

1 事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h； 

2 應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)、手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點(diǎn)； 

3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機(jī)械排煙設(shè)施。

7.7.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。 

含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。

7.7.7

   2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作； 

3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。

8.3.1 生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點(diǎn)確定。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達(dá)到國(guó)家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。 

8.3.2 潔凈室（區(qū)）內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng)。

8.5.1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

8.5.2

   1 潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層（不含不通行的技術(shù)夾層），應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；

8.5.3

   3 存放可燃?xì)怏w鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火設(shè)施。

9.2.3

   3 不循環(huán)支管的長(zhǎng)度不應(yīng)大于管徑的6倍； 

4 干管應(yīng)設(shè)置清洗口； 

5 管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；

10.1.5  潔凈室（區(qū)）內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過(guò)潔凈室（區(qū)）的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

10.1.6 可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過(guò)不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管。

10.1.7 

    2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間； 

3 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

10.1.8

1 可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時(shí)應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖；

3 引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施； 

4 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

10.2.5 氣體純化間（站）或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時(shí)，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災(zāi)危險(xiǎn)性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定： 

1 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施； 

2 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥； 

3 應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置； 

4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖； 

5 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。 

10.2.6 潔凈廠房?jī)?nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施： 

1 管道及閥門附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理；

2 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施； 

3 氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。

10.4.2 潔凈廠房?jī)?nèi)的特種氣體的儲(chǔ)存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區(qū)）分隔，隔墻上的門窗應(yīng)為甲級(jí)防火門窗。

10.4.3 

1 特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中； 

2 排風(fēng)機(jī)、泄漏報(bào)警、自動(dòng)切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源； 

3 一個(gè)特氣分配系統(tǒng)供多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備使用時(shí)，應(yīng)設(shè)置多路閥門箱；

10.4.5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房建筑外的儲(chǔ)存區(qū)內(nèi)。儲(chǔ)存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：  

1 儲(chǔ)存區(qū)應(yīng)至少三面敞開(kāi)，氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上； 

2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3.0m； 

3 儲(chǔ)存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3.5m。

11.2.1 

    1 化學(xué)品儲(chǔ)存間（區(qū)）的儲(chǔ)量不應(yīng)超過(guò)該化學(xué)品24h的消耗量； 

2 化學(xué)品應(yīng)按物化特性分類儲(chǔ)存；當(dāng)物化性質(zhì)不容許同庫(kù)儲(chǔ)存時(shí)，應(yīng)采用實(shí)體墻分隔； 

3 危險(xiǎn)化學(xué)品應(yīng)儲(chǔ)存在單獨(dú)的儲(chǔ)存間或儲(chǔ)存分配間內(nèi)，與相鄰房間應(yīng)采用耐火極限大于1.50h的隔墻分隔；

5 各類化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng)。機(jī)械排風(fēng)應(yīng)采用應(yīng)急電源； 

6 易爆化學(xué)品儲(chǔ)存、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防靜電地面； 

7 輸送易燃、易爆化學(xué)品的管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施； 

8 接至用戶的輸送易燃、易爆化學(xué)品的總管上，應(yīng)設(shè)置自動(dòng)和手動(dòng)切斷閥。

11.2.2 潔凈廠房?jī)?nèi)采用容器傳送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定： 

1 嚴(yán)禁在出入口、疏散走廊儲(chǔ)存和分配危險(xiǎn)化學(xué)品。潔凈廠房?jī)?nèi)運(yùn)送易燃化學(xué)品的走廊應(yīng)設(shè)置自動(dòng)滅火系統(tǒng)。 

2 運(yùn)送危險(xiǎn)化學(xué)品的推車運(yùn)載量不得超過(guò)250L；單個(gè)容器的容量不應(yīng)超過(guò)20L；  

3 物理化學(xué)特性不相容的危險(xiǎn)化學(xué)品不得采用同一推車運(yùn)送。 

11.2.3  當(dāng)采用壓力罐輸送危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定:

    1 輸送系統(tǒng)設(shè)備、管道應(yīng)采用與所輸送的化學(xué)品相容的材質(zhì); 

2 壓力罐應(yīng)設(shè)置減壓通風(fēng)口,減壓通風(fēng)口的排氣管應(yīng)接至安全區(qū)域; 

3 輸送系統(tǒng)應(yīng)只容許采用氮?dú)庠鰤? 

4 在分配和使用處應(yīng)設(shè)置手動(dòng)切斷閥; 

5 應(yīng)設(shè)置液位監(jiān)控和自動(dòng)關(guān)閉裝置,并應(yīng)設(shè)置溢流應(yīng)對(duì)設(shè)施。

11.2.5 液態(tài)危險(xiǎn)化學(xué)品的儲(chǔ)存、分配間,應(yīng)設(shè)置溢出保護(hù)設(shè)施,并應(yīng)符合下列規(guī)定: 

1 儲(chǔ)存罐或罐組應(yīng)設(shè)置保護(hù)堤,保護(hù)堤堤內(nèi)容積應(yīng)大于最大儲(chǔ)罐的容積或20min消防用水量;保護(hù)堤的高度不應(yīng)低于500mm; 

2 化學(xué)品相互接觸引起化學(xué)反應(yīng)的可燃液體儲(chǔ)罐或罐組之間,應(yīng)設(shè)置隔堤,隔堤不得滲漏:管道穿過(guò)隔堤時(shí)應(yīng)采用不燃材料密封。隔堤高度不應(yīng)低于400mm;

3 應(yīng)設(shè)置液體泄露報(bào)警. 

4 應(yīng)設(shè)置緊急淋浴和洗眼器。

11.3.1 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用,應(yīng)按所輸送的化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)確定,并應(yīng)選擇化學(xué)穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。

12.1.8 潔凈廠房?jī)?nèi),可燃?xì)怏w或液體的儲(chǔ)存、分配間的電氣設(shè)計(jì),應(yīng)根據(jù)可燃?xì)怏w或液體的特性確定,并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

12.2.3 

1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明;

12.2.4 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，其照度不應(yīng)低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。

12.3.2 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)，其防護(hù)等級(jí)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)防火分區(qū)面積超過(guò)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的最大建筑面積允許值時(shí)，保護(hù)等級(jí)應(yīng)為一級(jí)。

12.3.4 

1 潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測(cè)器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測(cè)器；

3 硅烷儲(chǔ)存、分配間（區(qū)），應(yīng)設(shè)置紅外線—紫外線火焰探測(cè)器；

12.3.6 潔凈廠房?jī)?nèi)下列場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報(bào)警裝置：

1 易燃、易爆、有毒氣體的儲(chǔ)存分配間（區(qū)）； 

2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；

3 工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風(fēng)管內(nèi)。

12.3.7 潔凈廠房?jī)?nèi)氣體報(bào)警裝置的聯(lián)動(dòng)控制，應(yīng)符合下列規(guī)定： 

1 應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置；

2 應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的進(jìn)氣閥； 

3 應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的電動(dòng)防火門、防火卷簾門； 

4 報(bào)警信號(hào)應(yīng)發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)泄漏現(xiàn)場(chǎng)的聲光警報(bào)裝置和應(yīng)急廣播。 

12.3.8 潔凈廠房?jī)?nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報(bào)警值應(yīng)為其爆炸下限值或允許濃度值的20%。

12.4.4 凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時(shí)，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制,并應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)；當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無(wú)水、無(wú)風(fēng)斷電保護(hù)。

13.2.1 

    2 防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2.5× 10^4~1×10^9?；

3 防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接，其地面對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1×10^5~1×10^8 ?。

13.3.4對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。